申请/专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司

申请日：2023-09-06

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN220855441U

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权

摘要：本实用新型涉及光刻机技术领域，具体而言，涉及一种单自由度运动平台及工件台。单自由度运动平台包括平台本体、直线电机、气浮轴承和磁预载；直线电机、气浮轴承和磁预载均安装于平台本体，直线电机用于驱动平台本体沿导向梁的导向面朝第一方向移动，并用于吸附导向梁；气浮轴承用于支撑导向梁，磁预载用于吸附导向梁；直线电机、磁预载与气浮轴承配合，用于平衡平台本体的转矩以及在第二方向和第三方向的受力。工件台包括上述单自由度运动平台。本实用新型提供的单自由度运动平台及工件台，不但可承受高速运动工况，便于提升运行速度；而且导向梁也无需润滑油维护，减小了给环境带来的污染。

主权项：1.一种单自由度运动平台，其特征在于，包括平台本体1、直线电机2、气浮轴承和磁预载；所述直线电机2、所述气浮轴承和所述磁预载均安装于所述平台本体1，所述直线电机2用于驱动所述平台本体1沿导向梁的导向面朝第一方向移动，并用于吸附所述导向梁9；所述气浮轴承用于支撑所述导向梁9，所述磁预载用于吸附所述导向梁9；所述直线电机2、所述磁预载与所述气浮轴承配合，用于平衡所述平台本体1的转矩以及在第二方向和第三方向的受力，所述第二方向与所述第三方向成夹角设置，且所述第二方向和所述第三方向均与所述第一方向垂直。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京华卓精科科技股份有限公司 单自由度运动平台及工件台

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD