申请/专利权人:成都中科卓尔智能科技集团有限公司
申请日:2023-09-14
公开(公告)日:2024-04-26
公开(公告)号:CN220836397U
主分类号:B05C11/08
分类号:B05C11/08;B05C9/14;B05C11/10;B05C15/00
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.26#授权
摘要:本实用新型公开了一种旋涂成膜装置,包括承载石英基片的预热转台,所述预热转台的外侧设置有自身能够升降的升降挡胶罩;所述预热转台的上方设置有竖直升降装置,所述竖直升降装置的升降端上设置有密封罩,所述密封罩伴随竖直升降装置的升降与升降挡胶罩拼合或脱离,所述密封罩的内部对应预热转台的顶部设置有转动加热装置;本实用新型能够形成相对密封的运输环境,对巡天模块进行稳固安全的运输,同时在运输过程中实时检测箱体内部环境的参数。
主权项:1.一种旋涂成膜装置,其特征在于,包括承载石英基片的预热转台(1),所述预热转台(1)的外侧设置有自身能够升降的升降挡胶罩(2);所述预热转台(1)的上方设置有竖直升降装置(3),所述竖直升降装置(3)的升降端上设置有密封罩(5),所述密封罩(5)伴随竖直升降装置(3)的升降与升降挡胶罩(2)拼合或脱离,所述密封罩(5)的内部对应预热转台(1)的顶部设置有转动加热装置(6)。
全文数据:
权利要求:
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