申请/专利权人：四川永祥多晶硅有限公司

申请日：2023-09-15

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN220834819U

主分类号：B01D53/04

分类号：B01D53/04;B01D53/047;B01D53/00;B01D5/00;B01D46/62;F28D21/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权

摘要：本实用新型公开了一种多晶硅生产废气回收处理系统，属于多晶硅生产技术领域，包括依次连接在多晶硅生产废气输送管道后端的过滤器、压缩机、深冷换热器和吸附装置；吸附装置的进气端与深冷换热器连接的同时，又通过支路管道接入压缩机的进气前端；吸附装置的出气端又通过设置分支管路接回吸附装置，使吸附处理后的气体进入吸附装置充当解吸过程中的吹扫气，本实用新型可以实现多晶硅生产废气中氯硅烷的充分回收利用，并且减少吸附装置的吹扫外引气，降低处理成本。

主权项：1.一种多晶硅生产废气回收处理系统，其特征在于，包括依次连接在多晶硅生产废气输送管道后端的过滤器（8）、压缩机（1）、深冷换热器（2）和吸附装置（3）；吸附装置（3）的进气端与深冷换热器（2）连接的同时，又通过支路管道接入压缩机（1）的进气前端；吸附装置（3）的出气端又通过设置分支管路接回吸附装置（3），使吸附处理后的气体进入吸附装置（3）充当解吸过程中的吹扫气。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 四川永祥多晶硅有限公司 一种多晶硅生产废气回收处理系统

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