龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：ASMIP私人控股有限公司
申请日：2023-10-24
公开（公告）日：2024-04-30
公开（公告）号：CN117947406A
主分类号：C23C16/455
分类号：C23C16/455
优先权：["20221027 US 63/381,168"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.04.30#公开
摘要：公开了一种用于输送气相前体以在气相沉积设备中沉积层的气相前体输送系统。该气相前体输送系统具有：气体出口；气体入口；被构造和布置用于存储前体的容器；以及包含在容器内的连接管。连接管可以连接到气体入口并与其流体连通。一种气相沉积设备例如立式炉可以具有这样的气相前体输送系统，用于在衬底上沉积层。
主权项：1.一种气相前体输送系统，包括：气体入口；气体出口；被构造和布置用于存储前体的容器；以及包含在容器内的连接管，该连接管连接到气体入口并与之流体连通，其中该系统设置有可移动注射器，该注射器连接到连接管并与之流体连通，并且被构造和布置成用于在距离容器中的前体表面基本恒定的水平处从气体入口注射气体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASMIP私人控股有限公司 气相前体输送系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号