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申请/专利权人：日本特殊陶业株式会社
申请日：2023-10-27
公开（公告）日：2024-04-30
公开（公告）号：CN117954368A
主分类号：H01L21/683
分类号：H01L21/683;H01L21/687
优先权：["20221031 JP 2022-174694","20230630 JP 2023-107808"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.04.30#公开
摘要：本发明提供一种基板保持构件，即使是具有挠曲、翘曲的基板也能够平坦性良好地吸附。基板保持构件具备：圆形平板状的基体，具有在上表面开口的多个通气孔；多个销状凸部，从基体的上表面向上方突出地形成；及环状凸部，以包围多个销状凸部的方式从基体的上表面向上方突出地形成，配置于比假想圆靠基体的径向外侧的外周区域的销状凸部的至少一部分是由第一凸要素和第二凸要素形成的第一销状凸部，假想圆通过最靠近基体的上表面的外周的通气孔且与基体的中心同心，第一凸要素从基体的上表面向上方突出，第二凸要素从第一凸要素的上端面向上方突出，且具有面积比第一凸要素的上端面小的上端面。
主权项：1.一种基板保持构件，其特征在于，具备：圆形平板状的基体，具有在上表面开口的多个通气孔；多个销状凸部，从所述基体的上表面向上方突出地形成；及环状凸部，以包围所述多个销状凸部的方式从所述基体的上表面向上方突出地形成，配置于比假想圆靠所述基体的径向外侧的外周区域的所述销状凸部的至少一部分是由第一凸要素和第二凸要素形成的第一销状凸部，所述假想圆通过最靠近所述基体的上表面的外周的所述通气孔且与所述基体的中心同心，所述第一凸要素从所述基体的上表面向上方突出，所述第二凸要素从所述第一凸要素的上端面向上方突出且具有面积比所述第一凸要素的上端面小的上端面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日本特殊陶业株式会社 基板保持构件
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