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【发明公布】有机聚合物、碳硬掩膜组合物和形成图案的方法_广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院_202410018059.7 

申请/专利权人:广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院

申请日:2024-01-05

公开(公告)日:2024-04-30

公开(公告)号:CN117946352A

主分类号:C08G10/00

分类号:C08G10/00;G03F7/00;G03F7/20;G03F7/004

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要:本申请涉及高分子聚合物领域,特别涉及一种有机聚合物、碳硬掩膜组合物和形成图案的方法。本申请的有机聚合物包含以共价键方式彼此连接的第一结构单元、第二结构单元;所述第一结构单元为;所述第二结构单元包括下式中至少一种、、、、、;其中,R1、R2、R3、R4、R5、R6和R7分别独立地选自C2~C9烯基或C2~C9炔基。该有机聚合物、碳硬掩膜组合物可用于制备高含碳量、耐高温、耐蚀刻以及可通过旋涂加工形成具有平坦化特性的有机膜的碳硬掩膜。

主权项:1.一种有机聚合物,其包含以共价键方式彼此连接的第一结构单元和第二结构单元;所述第一结构单元为;所述第二结构单元包括下式中至少一种: 、、、、、;其中,R1、R2、R3、R4、R5、R6和R7分别独立地选自C2~C9烯基或C2~C9炔基。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院 有机聚合物、碳硬掩膜组合物和形成图案的方法

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