申请/专利权人：东丽株式会社

申请日：2022-09-13

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117957494A

主分类号：G03F7/075

分类号：G03F7/075;C08F2/44;C08F2/50;C08F290/12;G02F1/1335;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/031;G03F7/038;G09F9/30;H01L33/00;H01L33/50;H05B33/02;H05B33/12;H05B33/22;H10K50/00;H10K59/00

优先权：["20210924 JP 2021-155230"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：本发明以提供在高曝光量加工时也能够如光掩模的设计线宽那样形成兼有预烘烤后的膜的无粘性、与熟化后的耐热性的厚膜间隔壁的树脂组合物作为目的。本发明的目的可以通过下述树脂组合物来实现，上述树脂组合物含有光自由基引发剂、受阻酚化合物和或受阻胺化合物、包含特定的结构的聚硅氧烷、以及包含特定的结构的甲基丙烯酸系聚合物和或包含特定的结构的cardo系聚合物，上述聚硅氧烷的重量与甲基丙烯酸系聚合物和cardo系聚合物的合计重量之比为3070～7030。

主权项：1.一种树脂组合物，其含有：i光自由基引发剂；ii受阻酚化合物和或受阻胺化合物；iii包含下述通式1或2所示的具有芳香环的结构和下述通式3所示的具有光自由基聚合性基的结构的聚硅氧烷；以及iv包含下述通式4所示的具有芳香环的结构和下述通式5所示的具有光自由基聚合性基的结构的甲基丙烯酸系聚合物、和或具有下述通式6或下述通式7所示的结构和光自由基聚合性基的cardo系聚合物，所述聚硅氧烷的重量与甲基丙烯酸系聚合物和cardo系聚合物的合计重量之比为3070～7030， 在通式1～7中，R1和R2各自独立地表示氢原子、羟基、具有硅氧烷键的基团或碳原子数1～30的1价有机基；R3和R4各自独立地表示氢原子、羟基或碳原子数1～30的1价有机基；R5～R7各自独立地表示氢原子、碳原子数1～30的1价有机基、碳原子数6～20的芳基或由相邻的R5～R7彼此形成的环成为芳香环的基团；R8表示氢原子、碳原子数1～30的1价有机基、或碳原子数6～20的芳基；X1、X2、X3和X4各自独立地表示具有芳香环的有机基；Y1和Y2各自独立地表示具有光自由基聚合性基的有机基；p、q、r各自独立地为0～2的整数，s表示1～2的整数；a、b、c、d、e、f和g各自独立地表示1以上的整数；在a～e为2以上的情况下，多个R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、X1、X2、X3、X4、Y1和Y2各自可以相同也可以不同。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东丽株式会社 树脂组合物、遮光膜及带有间隔壁的基板

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