龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：广东思沃先进装备有限公司
申请日：2024-03-07
公开（公告）日：2024-04-30
公开（公告）号：CN117954357A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L21/687;H01L21/683;B08B5/04;B29C63/02
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开
摘要：本申请提供了一种贴膜装置，其包括：工作台，其上形成有作业区域；在工作台上设置有辅助单元、卷放单元、第一卷收单元、第二卷收单元和位于卷放单元和第一卷收单元之间、且位于作业区域上方的压合单元；辅助单元设置于工作台内部，包括用于承载晶圆升降以进出作业区域的承载机构、用于对晶圆上表面清洁及整平的辅助机构；卷放单元、第一卷收单元和压合单元均能够在工作台上水平移动以进入或离开作业区域；在卷放单元和第一卷收单元上相对的一侧分别设置有均能够移动以靠近或远离工作台面的剥膜模块和收膜模块。本申请提供的贴膜装置，既能适配不同厚度的晶圆，也能避免晶圆边缘起翘导致的贴膜不良率问题，还能缩短整个贴膜周期，贴膜效率较高。
主权项：1.一种贴膜装置，用于对晶圆粘贴膜层，其特征在于，包括：工作台，其上形成有作业区域；在所述工作台上设置有辅助单元、卷放单元、第一卷收单元、第二卷收单元和位于所述卷放单元和所述第一卷收单元之间、且位于所述作业区域上方的压合单元；所述辅助单元设置于所述工作台内部，包括用于承载所述晶圆升降以进出所述作业区域的承载机构、用于对所述晶圆上表面清洁及整平的辅助机构；所述卷放单元、所述第一卷收单元和所述压合单元均能够在所述工作台上水平移动以进入或离开所述作业区域；在所述卷放单元和所述第一卷收单元上相对的一侧分别设置有均能够移动以靠近或远离工作台面的剥膜模块和收膜模块；所述卷放单元用于释放胶膜，所述剥膜模块的剥离端用于将所述胶膜上的粘接层和保护层剥离，所述第二卷收单元用于卷收所述保护层，所述压合单元用于将所述粘接层压合于所述晶圆，所述第一卷收单元用于卷收压合后多余的所述粘接层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东思沃先进装备有限公司 贴膜装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号