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申请/专利权人：株式会社尼康
申请日：2019-12-26
公开（公告）日：2024-04-30
公开（公告）号：CN117943696A
主分类号：B23K26/36
分类号：B23K26/36
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开
摘要：本发明的加工装置以及加工方法，可适当地对构成加工对象部分的多个单元加工对象部分的边界进行加工。射束加工装置是对工件照射加工射束的射束加工装置，在使加工射束的照射位置在第一方向上移动的同时对工件的第一面照射加工射束来对工件的第一部分进行去除加工，在使加工射束的照射位置在第一方向上移动的同时对通过第一部分的去除加工而形成于工件上的第二面照射加工射束来对工件的第二部分进行去除加工。第二部分的去除加工中的加工射束的移动范围相较于第一部分的去除加工中的加工射束的移动范围而言变小。
主权项：1.一种加工方法，其特征在于，利用加工射束对工件进行加工，所述加工方法包括：对所述工件的第一面沿第一方向扫描所述加工射束来去除第一部分的工序；对所述工件的第一面沿第一方向扫描所述加工射束来去除与所述第一部分邻接的第二部分的工序；以及跨越通过去除所述第一部分而形成于工件上的第二面与通过去除所述第二部分而形成于工件上的第三面，沿第一方向扫描所述加工射束，由此去除第三部分的工序。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社尼康 加工装置以及加工方法
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