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申请/专利权人：ASMIP私人控股有限公司
申请日：2023-10-26
公开（公告）日：2024-04-30
公开（公告）号：CN117955449A
主分类号：H03H7/38
分类号：H03H7/38;H03L7/26
优先权：["20221031 US 63/420,829","20221031 US 63/420,855","20221227 US 63/435,433"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.04.30#公开
摘要：在一实施例中，一种用于半导体制造的系统包括连续波CW射频RF源和脉冲RF源。该系统还包括位于CWRF源和负载之间的匹配网络以及控制电路。控制电路接收指示脉冲RF信号的一个或多个信号，并选择脉冲RF信号的一部分。控制电路然后在脉冲RF信号的选择部分期间采样至少一个参数。基于至少一个参数，控制电路引起至少一个可变电抗元件的改变，这使匹配网络在CWRF源和负载之间阻抗匹配。
主权项：1.一种系统，包括：连续波CW射频RF源，其配置为向负载提供CWRF信号；和脉冲RF源，其配置为向负载提供脉冲RF信号；匹配网络，其可操作地耦合在CWRF源和负载之间，该匹配网络包括至少一个可变电抗元件；以及控制电路，其可操作地耦合到a匹配网络和b脉冲RF源或位于脉冲RF源和负载之间的传感器中的至少一个，其中控制电路配置成：接收指示脉冲RF信号的一个或多个信号；选择脉冲RF信号的一部分；在脉冲RF信号的选择部分期间采样至少一个参数；并且通过基于采样的至少一个参数改变至少一个可变电抗元件，使匹配网络在CWRF源和负载之间阻抗匹配。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASMIP私人控股有限公司 连续波和脉冲源的RF阻抗匹配
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