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申请/专利权人：深圳市柠檬光子科技有限公司
申请日：2024-03-27
公开（公告）日：2024-04-30
公开（公告）号：CN117952284A
主分类号：G06Q10/04
分类号：G06Q10/04;G06T1/00;G06T11/20;G06T7/70
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开
摘要：本申请涉及一种挑片路径优化方法、装置、设备及存储介质。挑片路径优化方法包括：获取晶圆中各芯片颗粒的坐标信息；获取晶圆中各芯片颗粒的至少一个性能参数，并将性能参数与坐标信息对应；根据性能参数对芯片颗粒进行分Bin处理；对同一个Bin中的芯片颗粒赋予相同的分Bin信息，对不同的Bin中的芯片颗粒赋予不同的分Bin信息；将芯片颗粒的坐标信息赋予X轴和Y轴数值，将芯片颗粒的分Bin信息赋予Z轴数值，Z轴数值不同的点赋予不同的颜色，以生成分布图；根据所述分布图至少获取符合挑片范围的芯片颗粒的坐标分布；根据所述坐标分布规划挑片路径。上述挑片路径优化方法，有利于缩短挑片设备经过的路径长度，有效提升挑片作业效率。
主权项：1.一种挑片路径优化方法，其特征在于，包括：提供晶圆，所述晶圆设有多个芯片颗粒；获取所述晶圆中各所述芯片颗粒的坐标信息；获取所述晶圆中各所述芯片颗粒的至少一个性能参数，并将所述性能参数与所述坐标信息对应；根据所述性能参数对所述芯片颗粒进行分Bin处理，将所述芯片颗粒分为至少两个Bin，每个Bin中包括多个所述芯片颗粒，不同的Bin中的所述芯片颗粒至少存在一个性能参数位于不同的范围区间；对同一个Bin中的所述芯片颗粒赋予相同的分Bin信息，对不同的Bin中的所述芯片颗粒赋予不同的分Bin信息，其中至少一种分Bin信息对应符合挑片范围的芯片颗粒；将所述芯片颗粒的坐标信息赋予X轴和Y轴数值，将所述芯片颗粒的分Bin信息赋予Z轴数值，其中，Z轴数值不同的点赋予不同的颜色，以生成分布图；根据所述分布图至少获取分Bin信息对应符合挑片范围的所述芯片颗粒的坐标分布；根据所述坐标分布规划挑片路径。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市柠檬光子科技有限公司 挑片路径优化方法、装置、设备及存储介质
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