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【发明公布】一种横向结构的可控硅芯片及其制造方法_江苏捷捷微电子股份有限公司_202410350377.3 

申请/专利权人:江苏捷捷微电子股份有限公司

申请日:2024-03-26

公开(公告)日:2024-04-30

公开(公告)号:CN117954483A

主分类号:H01L29/74

分类号:H01L29/74;H01L29/06;H01L21/332

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要:本发明公开了一种横向结构的可控硅芯片,包括N‑型硅衬底,所述N-型硅衬底的上端设置有P型阳极区、P型阴极区、N+型阴极区、N+型截止环、阳极电极、阴极电极、门极电极和表面钝化层,所述P型阳极区和P型阴极区对称设置在N‑型硅衬底上端的两侧,所述N+型阴极区设置在P型阴极区上端面的内侧,所述N+型截止环设置在N‑型硅衬底上端围绕在P型阳极区、P型阴极区外侧,所述阳极电极设置在P型阳极区上端面,所述阴极电极设置在N+型阴极区上端面。本发明可控硅芯片将有源区设置在芯片正面,取消了P+型穿通环结构的设计,且无需分压环就能满足VDRM>900V的要求,节省了芯片面积,降低了制造成本,提高了生产效率。

主权项:1.一种横向结构的可控硅芯片,包括N-型硅衬底(1),其特征在于:所述N-型硅衬底(1)的上端设置有P型阳极区(2)、P型阴极区(3)、N+型阴极区(4)、N+型截止环(5)、阳极电极(6)、阴极电极(7)、门极电极(8)和表面钝化层(9);所述P型阳极区(2)和P型阴极区(3)对称设置在N-型硅衬底(1)上端的两侧;所述N+型阴极区(4)设置在P型阴极区(3)上端面的内侧;所述N+型截止环(5)设置在N-型硅衬底(1)上端围绕在P型阳极区(2)、P型阴极区(3)外侧;所述阳极电极(6)设置在P型阳极区(2)上端面,所述阴极电极(7)设置在N+型阴极区(4)上端面,所述门极电极(8)设置在P型阴极区(3)上端位于N+型阴极(4)区的一侧。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 江苏捷捷微电子股份有限公司 一种横向结构的可控硅芯片及其制造方法

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