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申请/专利权人：富士胶片株式会社
申请日：2022-07-13
公开（公告）日：2024-04-30
公开（公告）号：CN117957069A
主分类号：B05D1/26
分类号：B05D1/26;B41J2/01;B41J2/015;B41J2/14;H05K3/10
优先权：["20210924 JP 2021-155806"]
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开
摘要：本发明提供一种能够确保图案的一定的位置精确度的图案形成基板制造方法及液体排出装置。本发明的图案形成基板制造方法在实施多次基板与液体排出头的相对移动并在每次相对移动时从液体排出头向基板排出液体而在基板上形成图案时执行如下处理：实施第1次相对移动，从液体排出头排出液体而在基板上形成第1图案要素；实施第2次相对移动，从液体排出头排出液体而在与第1图案要素接触的位置形成第2图案要素，从而形成包括第1图案要素及第2图案要素的图案；及在第1次相对移动中适用比第2次相对移动中的相对移动速度慢的相对移动速度。
主权项：1.一种图案形成基板制造方法，其实施多次基板与液体排出头的相对移动，并在每次所述相对移动时从所述液体排出头向所述基板排出液体而在所述基板上形成图案，所述图案形成基板制造方法包括如下步骤：实施第1次所述相对移动，从所述液体排出头排出液体而在所述基板上形成第1图案要素；实施第2次所述相对移动，从所述液体排出头排出液体，在与所述第1图案要素接触的位置形成第2图案要素，从而形成包括所述第1图案要素及所述第2图案要素的所述图案；在所述第1次相对移动中适用比所述第2次相对移动中的相对移动速度慢的相对移动速度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 富士胶片株式会社 图案形成基板制造方法及液体排出装置
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