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申请/专利权人：北京工业大学
申请日：2024-01-18
公开（公告）日：2024-04-30
公开（公告）号：CN117950143A
主分类号：G02B7/02
分类号：G02B7/02;G02B3/00
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开
摘要：本发明公开一种单元微平透镜、微平透镜阵列结构及制备方法，涉及微光机电系统技术领域。所述单元微平透镜包括：微平透镜镜面、驱动结构、支撑结构和基底；所述支撑结构设置于所述微平透镜镜面和所述基底之间，使所述微平透镜镜面悬挂在所述基底上方；所述驱动结构与所述微平透镜镜面的边平行相接，且与所述支撑结构连接。通过对驱动结构施加电压形成电流回路产生焦耳热，使得温度改变，从而产生形变，通过控制电压大小，实现对微平透镜镜面的平移和偏转。微平透镜阵列结构可以实现对单元微平透镜的独立控制和高透光效率。
主权项：1.一种单元微平透镜，其特征在于，包括：微平透镜镜面、驱动结构、支撑结构和基底；所述支撑结构设置于所述微平透镜镜面和所述基底之间，使所述微平透镜镜面悬挂在所述基底上方；所述驱动结构与所述微平透镜镜面的边平行相接，且与所述支撑结构连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京工业大学 一种单元微平透镜、微平透镜阵列结构及制备方法
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