申请/专利权人:中国地质大学(武汉)
申请日:2024-01-23
公开(公告)日:2024-04-30
公开(公告)号:CN117951477A
主分类号:G06F18/20
分类号:G06F18/20;G01N27/626;G06F18/15;G06F17/15
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开
摘要:本发明公开了一种激光剥蚀等离子质谱元素成像的数据处理方法及装置,属于数据处理技术领域。本发明在进行激光剥蚀等离子质谱元素扫描分析时,采集原始线扫描数据;获取通过预设偏度拟合模型拟合后的特征参数;通过所述特征参数对所述原始线扫描数据进行反卷积处理,得到处理后的数据;对处理后的数据进行校正处理,得到目标线扫描数据;通过所述目标线扫描数据进行元素分布分析,从而解决数据信号模糊,边缘失真等问题,更好地获得两相界面元素分布信息和更清晰和准确的元素分布图像。
主权项:1.一种激光剥蚀等离子质谱元素成像的数据处理方法,其特征在于,所述激光剥蚀等离子质谱元素成像的数据处理方法包括:在进行激光剥蚀等离子质谱元素扫描分析时,采集原始线扫描数据;获取通过预设偏度拟合模型拟合后的特征参数;通过所述特征参数对所述原始线扫描数据进行反卷积处理,得到处理后的数据;对处理后的数据进行校正处理,得到目标线扫描数据;通过所述目标线扫描数据进行元素分布分析。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 中国地质大学(武汉) 激光剥蚀等离子质谱元素成像的数据处理方法及装置
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