申请/专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所

申请日：2024-03-15

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117942680A

主分类号：B01D46/64

分类号：B01D46/64;B01D46/24;B01D46/30;B01D46/88;B01D46/00;B01D46/42

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：本发明公开了一种用于MOCVD设备的颗粒捕集器，包括：进气法兰、壳体、安装基座、滤芯组件和出气法兰；壳体的两端分别连接进气法兰和出气法兰，进气法兰用于连接MOCVD设备，出气法兰用于连接尾气处理器；壳体内部设有安装基座，安装基座将壳体内部隔断为过滤腔室和混气腔室；安装基座上并排安装有多个滤芯组件，滤芯组件位于过滤腔室内，且滤芯组件的顶部密封；MOCVD设备排出的尾气，由进气法兰进入过滤腔室内部，并经由滤芯组件侧部进入滤芯组件内部进行过滤后，再由滤芯组件底部排入混气腔室中，过滤后的尾气最终由出气法兰排出。本发明具有结构紧凑、易于维护且能均匀捕集工艺气体中的微小颗粒的优点，解决了MOCVD设备真空系统因颗粒导致的苛刻环境而造成管道内沉积物过多、抽高真空困难、蝶阀密封圈维护周期短、干泵使用寿命短等问题。

主权项：1.一种用于MOCVD设备的颗粒捕集器，其特征在于，包括：进气法兰1、壳体4、安装基座5、滤芯组件和出气法兰11；所述壳体4的两端分别连接进气法兰1和出气法兰11，所述进气法兰1用于连接MOCVD设备的反应器，所述出气法兰11用于连接尾气处理器；所述壳体4内部设有安装基座5，所述安装基座5将壳体4内部隔断为过滤腔室41和混气腔室42，所述过滤腔室41与进气法兰1连通，所述混气腔室42与出气法兰11连通；所述安装基座5上并排安装有多个滤芯组件，滤芯组件位于过滤腔室41内，且滤芯组件的顶部密封；MOCVD设备排出的尾气，由进气法兰1进入过滤腔室41内部，并经由滤芯组件侧部进入滤芯组件内部进行过滤后，再由滤芯组件底部排入混气腔室42中，过滤后的尾气最终由出气法兰11排向尾气处理器。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种用于MOCVD设备的颗粒捕集器

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