申请/专利权人：细美事有限公司

申请日：2023-05-10

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117954347A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：["20221027 KR 10-2022-0139802"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.30#公开

摘要：根据本公开的一个方面，提供了一种基板处理装置，包括：容器部，其中形成有基板处理区域，所述容器部包括供应端口，所述供应端口向所述基板处理区域供应处理流体，以及排出端口，所述排出端口将所述处理流体从所述基板处理区域排出；流体供应单元，向所述基板处理区域供应所述处理流体；以及排出单元，从所述容器部排出所述处理流体。所述排出单元包括：主线，连接到所述排出端口；延长管线，从所述主线的第一节点和第二节点中的至少一个分支出来，所述延长管线包括第一开口或第一单向阀中的至少一个，以调节排出速度；以及辅助管线，从所述主线的第三节点分支出来，所述辅助管线中没有形成开口和单向阀。

主权项：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括：容器部，形成有基板处理区域，所述容器部包括供应端口，所述供应端口向所述基板处理区域供应处理流体，以及排出端口，所述排出端口将所述处理流体从所述基板处理区域排出；流体供应单元，向所述基板处理区域供应所述处理流体；以及排出单元，从所述容器部排出所述处理流体，所述排出单元包括：主线，连接到所述排出端口；延长管线，从所述主线的第一节点和第二节点中的至少一个分支出来，所述延长管线包括第一开口或第一单向阀中的至少一个，以调节排出速度；以及辅助管线，从所述主线的第三节点分支出来，所述辅助管线中没有形成开口和单向阀，其中，在第一处理时间内，所述处理流体通过所述延长管线排出，而所述处理流体不通过所述辅助管线排出，及在第二处理时间内，所述处理流体通过所述辅助管线排出。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 细美事有限公司 基板处理装置

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