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申请/专利权人：阿自倍尔株式会社
申请日：2023-09-19
公开（公告）日：2024-04-30
公开（公告）号：CN117949136A
主分类号：G01L21/00
分类号：G01L21/00
优先权：["20221028 JP 2022-173580"]
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开
摘要：在隔膜真空计中，分别更换传感器头与测量电路。隔膜真空计10具有传感器头11、连接部12、以及处理部13。传感器头11对经加热的真空腔室40的真空压力进行测量。连接部12具有连接器或缆线，所述连接器或缆线设置有非易失性存储器，并连接传感器头11与处理部13。处理部13具有用于对测量后的真空压力的值进行处理的测量电路。
主权项：1.一种隔膜真空计，其特征在于，包括：传感器头，用于真空压力的测量；处理部，具有测量电路；以及连接部，具有连接器或缆线，所述连接器或缆线设置有非易失性存储器，并连接所述传感器头与所述处理部。
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