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【发明公布】碳化硅切割液助剂组合物、改性碳化硅切割液及其制备方法和应用_浙江兆晶新材料科技有限公司;北京中企祥科技有限公司_202311682701.3 

申请/专利权人:浙江兆晶新材料科技有限公司;北京中企祥科技有限公司

申请日:2023-12-08

公开(公告)日:2024-04-30

公开(公告)号:CN117946784A

主分类号:C10M161/00

分类号:C10M161/00;B28D1/22;B28D7/00;C10M141/12

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要:本发明涉及碳化硅切割液领域,公开了一种碳化硅切割液助剂组合物、改性碳化硅切割液及其制备方法和应用。该碳化硅切割液助剂组合物包含质量比为18‑22:1‑4:1的油酸二乙醇酰胺硼酸酯、硅酸盐和原花青素。该碳化硅切割液助剂组合物能够提升所述碳化硅切割液的各项性能,降低碳化硅切割液切割碳化硅晶体时的污片率和线痕片率,提高成品率,同时,还能够提高碳化硅切割液的重复利用率,具有较大的实用价值和经济效益。

主权项:1.一种碳化硅切割液助剂组合物,其特征在于,包含质量比为18-22:1-4:1的油酸二乙醇酰胺硼酸酯、硅酸盐和原花青素。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 浙江兆晶新材料科技有限公司;北京中企祥科技有限公司 碳化硅切割液助剂组合物、改性碳化硅切割液及其制备方法和应用

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