申请/专利权人:全芯智造技术有限公司
申请日:2024-03-19
公开(公告)日:2024-04-30
公开(公告)号:CN117950281A
主分类号:G03F7/20
分类号:G03F7/20
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开
摘要:根据本公开的示例实施例,提供了用于检测辅助图形曝光的方法、电子设备和存储介质。该方法包括提取量测图像中的图案轮廓以生成与量测图像对应的轮廓图像。该方法还包括基于包括辅助图形的版图图案生成中间图案,中间图案包括至少一个辅助图形检测区域。该方法进一步包括将中间图案与轮廓图像进行对准,并且基于中间图案与轮廓图像的对准,响应于图案轮廓中的至少一个图案轮廓与至少一个辅助图形检测区域中的相应辅助图形检测区域相交,确定检测到辅助图形被曝光。
主权项:1.一种用于检测辅助图形曝光的方法,包括:提取量测图像中的图案轮廓以生成与所述量测图像对应的轮廓图像;基于包括辅助图形的版图图案生成中间图案,所述中间图案包括至少一个辅助图形检测区域;将所述中间图案与所述轮廓图像进行对准;基于所述中间图案与所述轮廓图像的对准,响应于所述图案轮廓中的至少一个图案轮廓与所述至少一个辅助图形检测区域中的相应辅助图形检测区域相交,确定检测到辅助图形被曝光。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 全芯智造技术有限公司 用于检测辅助图形曝光的方法、电子设备和存储介质
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