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申请/专利权人：TCL华星光电技术有限公司
申请日：2020-12-24
公开（公告）日：2024-04-30
公开（公告）号：CN112788824B
主分类号：H05F3/04
分类号：H05F3/04;C23C14/24;H10K71/16
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.04.30#授权;2021.05.28#实质审查的生效;2021.05.11#公开
摘要：本申请公开了一种静电去除装置、蒸镀装置及静电去除方法，该静电去除装置包括：升降架，包括底板，及设置在底板上表面且相互间隔的多个基板分离件，多个基板分离件围合形成有多个间隔设置的悬空区域，多个悬空区域之间形成有间隔区域；电极组件，包括支撑在底板上表面且与底板的上表面相对的多个板状电极，多个板状电极与多个悬空区域一一对应设置，多个板状电极相互间隔设置，板状电极与悬空区域形状适配。本申请提供的静电去除装置，将电极的形状和位置与基板分离件围合形成的悬空区域对应设置，既不会损伤玻璃基板正面的有机材料，也能够对玻璃基板背面与间隔区域对应的非显示区进行活化和静电消除，降低玻璃基板与升降架分离时的破片率。
主权项：1.一种静电去除装置，其特征在于，所述静电去除装置包括：升降架，所述升降架包括底板，及设置在所述底板上表面且相互间隔的多个基板分离件，所述多个基板分离件围合形成有多个间隔设置的悬空区域，所述多个悬空区域之间形成有间隔区域；电极组件，包括支撑在所述底板上表面且与所述底板的上表面相对的多个板状电极，所述多个板状电极与所述多个悬空区域一一对应设置，所述多个悬空区域与玻璃基板的有机层对应设置，所述玻璃基板具有与所述悬空区域对应的显示区，及与所述间隔区域对应的非显示区，所述多个板状电极相互间隔设置，所述板状电极与所述悬空区域形状适配，板状电极在进行介质放电时，板状电极之间的气体会发生电离产生等离子体，部分等离子体会扩散到所述玻璃基板靠近板状电极的一侧，以消除玻璃基板背面的静电，少数等离子体扩散到多个悬空区域之间的间隔区域以中和静电，从而消除位于悬空区域的玻璃基板非显示区的静电。
全文数据：
权利要求：
百度查询： TCL华星光电技术有限公司 静电去除装置、蒸镀装置及静电去除方法
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