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申请/专利权人：北方夜视技术股份有限公司
申请日：2022-06-01
公开（公告）日：2024-04-30
公开（公告）号：CN114920469B
主分类号：C03C27/06
分类号：C03C27/06
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.04.30#授权;2022.09.06#实质审查的生效;2022.08.19#公开
摘要：本发明提供了一种硼硅玻璃的键合方法，该键合方法包括如下步骤：1将磨抛后表面光滑的硼硅玻璃基片分别使用纯水、乙醇清洗去除污物2在piranha溶液中超声清洗后再次使用纯水和乙醇清洗，并用氮气枪将其吹干3在键合面滴加氨水活化液，将其贴合后在湿度70％‑90％环境放置2h，之后将其分开，再次滴加氨水活化液后重新贴合待用。4将贴合静置后的基片放入真空烘干箱，先在100℃保温1h，然后在200℃继续保温4h。5随炉自然冷却到室温，键合完成。该键合方法无需在高洁净环境中进行，对设备和环境要求较低，成本低廉，方便操作。
主权项：1.一种硼硅玻璃的键合方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，使用光学抛光仪器对玻璃样品进行抛光，并分别使用纯水、乙醇和丙酮进行清洗，得到清洗后的玻璃基片；步骤2，在通风橱中将玻璃基片放入体积比为7:3的98%浓硫酸和30%双氧水混合液中超声清洗，将经步骤1清洗后的基片放入中超声处理一段时间，进一步去除玻璃基片表面污染物，同时生成Si-OH键使表面亲水，再次使用纯水和乙醇超声清洗一段时间，然后使用氮气枪将其吹干待用；步骤3，按体积比为NH4OH:H2O2:H2O=6:2:2的比例配置氨水活化液，将氨水活化液用针筒滴加在一片待键合的基片表面，将另一片与其贴合后在湿度为70%-90%的湿润环境中静置一段时间，重复此步骤后继续静置待用；步骤4，将静置后的基片分开，重复步骤3中滴加氨水活化液，然后重新贴合放回恒湿箱中继续静置2h；步骤5，将基片放入真空烘干箱，先升温到100℃保温一段时间,然后继续升温到200℃保温一段时间；步骤6,随炉冷却到室温，键合完成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北方夜视技术股份有限公司 一种硼硅玻璃的键合方法
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