申请/专利权人：合肥综合性国家科学中心能源研究院(安徽省能源实验室)

申请日：2024-01-19

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117572028B

主分类号：G01Q60/22

分类号：G01Q60/22;G01Q60/18;G01Q20/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.30#授权;2024.03.08#实质审查的生效;2024.02.20#公开

摘要：一种太赫兹近场系统激光光路的调整方法，属于太赫兹近场成像领域，主要解决光学显微镜不能清晰观察到探针悬臂激光光斑，激光光路调整复杂、缓慢、不准确性问题，采用调整激光器位置对发射的激光进行粗调、调整激光器位置对发射的激光进行精调以及利用光斑位置检测器对接收的激光进行调整的三步法，利用阴影放大投影法，可以直接有效观察判断激光光斑在探针悬臂的位置，快速调解激光光路。本调整方法具有快速、操作方便的特点。

主权项：1.一种太赫兹近场系统激光光路的调整方法，利用阴影放大投影法，能够直接观察判断激光光斑在探针悬臂的位置，快速对激光光路进行调整，其特征在于，所述方法包括以下步骤：步骤一，调整激光器位置对发射的激光进行粗调；步骤二，调整激光器位置对发射的激光进行精调；步骤三，利用光斑位置检测器对接收的激光进行调整；步骤一的具体实现方法为，肉眼观察激光器发出的激光到探针附近，调整激光器的位置调解旋钮，光学显微镜下观察使激光位于探针的根部2毫米宽度的基底上；在光学显微镜下观察根部的激光光斑，调整激光器的位置调解旋钮，使基底上光斑位于探针的根部中心，再调整位置调解旋钮使激光向探针悬臂移动，在光学显微镜下观察激光光斑光强最大点是否在探针中心；步骤二的具体实现方法为，在投影放大法下观察激光光斑，在探针下端距离5厘米以上的位置平面上，观察光斑的放大阴影，阴影放大法为利用激光到探针上的100微米的光斑，在5厘米位置平面放大，将光斑的阴影放大30-50倍形成3-5毫米的光斑，明显观察光斑和探针的相对位置，经步骤一调整激光光斑位于探针附近，在投影放大法观察，调整后的光斑和探针位于光斑中心，其中光斑中心为光强的最大点；如果光斑不在探针中心，光斑在探针附近，微调激光器的位置调解旋钮，向探针方向移动光斑，在探针下端5厘米的位置平面上观察光斑和探针的投影，探针遮挡的阴影部分位于光斑的中心位置，这样光斑光强最大点已经在探针背部中心；步骤三的具体实现方法为，肉眼观察探针反射的激光到达光斑位置检测器，并观察，使光斑探测器数值SUM值最大，激光光斑窗口红点位置位于窗口中心。

全文数据：

权利要求：

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