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申请/专利权人：琳得科株式会社
申请日：2018-03-30
公开（公告）日：2024-04-30
公开（公告）号：CN111587472B
主分类号：H01L21/301
分类号：H01L21/301;H01L23/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.04.30#授权;2020.09.18#实质审查的生效;2020.08.25#公开
摘要：本发明提供一种支撑片，其具备基材，且在基材上具备粘着剂层，基材的粘着剂层侧的面为凹凸面，从支撑片的5处切取大小为3mm×3mm的试验片，并分别求出这5片试验片中的粘着剂层的厚度的最小值及最大值时，所述最小值的平均值为1.5μm以上，所述最大值的平均值为9μm以下。本发明还提供一种保护膜形成用复合片，其在该支撑片中的粘着剂层上具备保护膜形成用膜。
主权项：1.一种支撑片，其具备基材，且在所述基材上具备粘着剂层，其中，所述基材的所述粘着剂层侧的面为凹凸面，在所述凹凸面中，依据JISB0601:2013测定的最大高度粗糙度Rz为0.5～6μm，从所述支撑片的5处切取试验片，并分别求出这5片试验片中的粘着剂层的厚度的最小值及最大值时，所述最小值的平均值为1.5μm以上，所述最大值的平均值为9μm以下。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 琳得科株式会社 支撑片及保护膜形成用复合片
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