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申请/专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院;安徽中科德技智能科技有限公司
申请日：2021-08-19
公开（公告）日：2024-04-30
公开（公告）号：CN113740034B
主分类号：G01M11/02
分类号：G01M11/02
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.04.30#授权;2021.12.21#实质审查的生效;2021.12.03#公开
摘要：本发明公开了一种基于光学干涉的薄膜均匀性检测系统，包括成像单元、采集单元、处理单元、存储单元、控制单元；所述成像单元用于产生均匀照明的平行偏振光经薄膜上下表面反射后，通过透镜阵列形成干涉条纹在线阵相机干涉成像；所述采集单元包括载物台、线阵相机，用于采集所述薄膜干涉图像；所述处理单元用于采用预设的薄膜均匀性检测模型对所述薄膜干涉图像进行识别，检测所述薄膜干涉图像是否发生畸变，从而实现薄膜均匀一致性判别。本发明能够解决现有采集表面反光薄膜图像孤立噪声点多的问题，实现透明薄膜的表面及内部均匀性检测。
主权项：1.一种基于光学干涉的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，包括成像单元、采集单元、处理单元、存储单元、控制单元；所述成像单元用于产生均匀照明的平行偏振光经薄膜上下表面反射后，通过透镜阵列形成干涉条纹在线阵相机干涉成像；所述成像单元包括依次设置的光源、偏振片、滤光片、扩束镜、光阑、匀光镜、聚光透镜、分光镜、吸收体和透镜阵列，所述光源、偏振片、滤光片、扩束镜、光阑、匀光镜、聚光透镜和分光镜的中心均位于同一轴线上，匀光镜位于聚光透镜焦点上；所述吸收体设置在所述光源入射至分光镜并经分光镜反射后的光路上；所述透镜阵列设置在经薄膜上下表面反射后的出射光入射至分光镜并经分光镜反射后的光路上，吸收体和透镜阵列分别位于分光镜的两侧；所述采集单元包括载物台、线阵相机，用于采集薄膜干涉图像；所述处理单元用于采用预设的薄膜均匀性检测模型对所述薄膜干涉图像进行识别，检测所述薄膜干涉图像是否发生畸变，从而实现薄膜均匀一致性判别；所述存储单元用于预存各类滤波算法、薄膜均匀性检测模型和所述线阵相机获得的薄膜均匀一致和非一致典型薄膜干涉图像库；所述控制单元用于对所述成像单元、采集单元和处理单元的各种控制参数进行设定。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院合肥物质科学研究院;安徽中科德技智能科技有限公司 基于光学干涉的薄膜均匀性检测系统
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