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申请/专利权人：成都大学
申请日：2021-12-28
公开（公告）日：2024-04-30
公开（公告）号：CN114300569B
主分类号：H01L31/113
分类号：H01L31/113;H01L31/0224
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.04.30#授权;2022.04.26#实质审查的生效;2022.04.08#公开
摘要：本发明公开了一种双波段可调谐室温红外光电探测器，包括导线、源漏电极、石墨烯、衬底、底电极薄膜和铁电薄膜，所述源漏电极的顶部为接触金属电极；所述石墨烯与铁电薄膜接触，并且接收被检测的红外光信号；所述源漏电极与石墨烯接触，并且收集石墨烯接收红外光信号后产生的正负电荷，且通过连接导线形成源漏电流，本发明涉及红外光电探测器技术领域。该双波段可调谐室温红外光电探测器，使用石墨烯，可与基底以范德华力接触，无需考虑晶格匹配问题，无需复杂的外延生长工艺，大大降低了生产成本，本发明无需对石墨烯图形化，避免了石墨烯加工过程中对材料的损伤及不光滑边缘的产生，简化了加工流程。
主权项：1.一种双波段可调谐室温红外光电探测器，包括导线、源漏电极1、石墨烯2、衬底3、底电极薄膜4和铁电薄膜5，其特征在于：所述源漏电极1的顶部为接触金属电极；所述石墨烯2与铁电薄膜5接触，并且接收被检测的红外光信号；所述源漏电极1与石墨烯2接触，并且收集石墨烯2接收红外光信号后产生的正负电荷，且通过连接导线形成源漏电流；选用铁电薄膜为铁酸铋BFO、底电极为镧锶锰氧LSMO、衬底为钛酸锶STO；BFO厚度为25nm；LSMO厚度为25nm，STO厚度为500μm；将铁电薄膜进行周期极化，图案为周期环状，内圆半径为20nm，外圆半径为30nm，周期为200nm，极化向下的铁电畴所掺杂的石墨烯费米能级为0.1～0.7eV，可实现6.1～14.4μm和25.1～44.9μm两个波段的可调谐探测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 成都大学 一种双波段可调谐室温红外光电探测器
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