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申请/专利权人：飞思仪表(深圳)有限公司
申请日：2022-05-23
公开（公告）日：2024-04-30
公开（公告）号：CN115032245B
主分类号：G01N27/22
分类号：G01N27/22
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.04.30#授权;2022.09.30#实质审查的生效;2022.09.09#公开
摘要：本申请涉及湿度传感器技术领域，具体公开了一种氧化铝叉指湿度传感器的制作方法和叉指湿度传感器，制作方法包括如下步骤：S1、准备印制有叉指电极的基板、制备氧化铝溶胶、制备碱腐蚀液；S2、制备氧化铝膜：在叉指电极以及基板表面浸涂氧化铝溶胶，然后在惰性气体下，升温至70‑90℃下，保温处理1‑3h，升温至300‑500℃，焙烧处理4‑8h，升温至900‑1000℃，焙烧处理1‑3h，降温，得到初成品；S3、后处理：将初成品放置在碱腐蚀液中，浸渍处理，去除氧化铝膜中的γ‑氧化铝，取出，水洗，烘干，得到叉指湿度传感器。该叉指湿度传感器具有高湿敏性、低校正漂移、高长期使用稳定性、高使用寿命的优点。
主权项：1.一种氧化铝叉指湿度传感器的制作方法，其特征在于：包括如下步骤：S1、准备印制有叉指电极的基板、制备氧化铝溶胶、制备碱腐蚀液S2、制备氧化铝膜：在叉指电极以及基板表面浸涂氧化铝溶胶，然后在惰性气体下，升温至70-90℃下，保温处理1-3h，继续升温至300-500℃，焙烧处理4-8h，再继续升温至900-1000℃，焙烧处理1-3h，降温，氧化铝溶胶形成氧化铝膜，得到初成品；S3、后处理：将初成品放置在碱腐蚀液中，浸渍处理，去除氧化铝膜中的γ-氧化铝，取出，水洗，烘干，氧化铝膜形成氧化铝湿敏膜，得到叉指湿度传感器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 飞思仪表(深圳)有限公司 一种氧化铝叉指湿度传感器的制作方法和叉指湿度传感器
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