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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
申请日：2020-05-08
公开（公告）日：2024-04-30
公开（公告）号：CN113966488B
主分类号：G03F1/84
分类号：G03F1/84;G01N21/956;G01N21/88;G03F7/20;G06T7/00;G03H1/04
优先权：["20190613 EP 19179972.5"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.04.30#授权;2022.02.15#实质审查的生效;2022.01.21#公开
摘要：披露了一种确定与结构有关的复值场的方法，包括：获得与所述结构的一系列图像相关的图像数据，对于所述结构，至少一个测量参数是所述系列中是变化的；以及获得可操作以将一系列图像映射到对应的复值场的经训练网络。所述方法包括：将所述图像数据输入到所述经训练网络中；和以非迭代的方式确定与所述结构相关的、作为所述经训练网络的输出的所述复值场。也披露了一种训练未经训练网络的方法。
主权项：1.一种确定与结构有关的复值场的方法，包括：获得与所述结构的一系列图像相关的图像数据，对于所述结构，至少一个测量参数在所述一系列图像中是变化的；获得能够操作以将一系列图像映射到对应的复值场的经训练网络；将所述图像数据输入到所述经训练网络中；和以非迭代的方式确定与所述结构相关的、作为所述经训练网络的输出的所述复值场。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 量测方法和用于训练用于量测的数据结构的方法
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