申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

申请日：2024-02-02

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117681083B

主分类号：B24B13/01

分类号：B24B13/01;B24B49/12;B24B1/00;B24B13/00;B24B27/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.30#授权;2024.03.29#实质审查的生效;2024.03.12#公开

摘要：本发明涉及光学元件加工技术领域，具体涉及一种抛光磨头、抛光与原位检测装置及抛光加工方法；抛光磨头包括装卡装置、弹性支撑体、抛光磨头主体以及装卡外壳，其中：装卡装置和抛光磨头主体连接，装卡装置和或抛光磨头主体内设有弹性安装空间，且装卡装置和抛光磨头主体之间通过对应的弹性安装空间设置有弹性支撑体；装卡外壳可拆卸套设于装卡装置和抛光磨头主体上。本发明的抛光磨头，通过对抛光磨头配置有弹性支撑体，以及设计了装卡装置及装卡外壳的结构，可实现抛光磨头的可拆卸安装，以使得便于更换相应的部件，部件重复使用，此外，配置的支撑体还可以使得具有一定的缓冲，以使得在实际应用场景中通过弹性抛光能实现更好的抛光效果。

主权项：1.一种抛光与原位检测装置，其特征在于，包括抛光机构、工作台、设于所述工作台上的原位检测装置和检测定位装置，所述原位检测装置与所述检测定位装置配置为可翻转设置；所述抛光机构包括用于连接运动机构的连接装置、抛光主轴以及抛光磨头，所述抛光磨头安装在所述抛光主轴上，其中：所述抛光磨头，包括装卡装置、弹性支撑体、抛光磨头主体以及装卡外壳，其中：所述装卡装置和所述抛光磨头主体连接，所述装卡装置和或所述抛光磨头主体内设有弹性安装空间，且所述装卡装置和所述抛光磨头主体之间通过对应的弹性安装空间设置有所述弹性支撑体；所述装卡外壳可拆卸套设于所述装卡装置和所述抛光磨头主体上；所述抛光磨头用于光学元件的加工，所述光学元件采用金属材料制成；所述抛光磨头还包括抛光垫，所述抛光垫为软质材料，至少所述装卡装置的部分为球形，所述抛光垫贴合于所述装卡装置的球形部分上；所述抛光磨头主体和所述装卡装置还贯穿设有用于抛光液传送的导流槽，其中：所述导流槽分为设在所述抛光磨头主体上用于输入抛光液的第一外径通道和与所述第一外径通道连通的圆梯台形通道，及设在所述装卡装置上与所述圆梯台形通道连通的第二外径通道，所述第一外径通道的直径大于所述第二外径通道的直径；所述工作台用于放置且固定待加工的光学元件；所述抛光主轴安装于所述连接装置上，通过外部的运动机构及所述抛光主轴的联动实现所述抛光磨头对所述工作台上的光学元件进行抛光加工；所述原位检测装置包括设在所述工作台上的检测支架、设在所述检测支架上的条纹显示装置及图像摄取装置，当需要对所述工作台上的光学元件进行检测时，所述原位检测装置能够翻转定位在所述检测定位装置上，所述条纹显示装置能够将显示的条纹反射至所述光学元件上，所述图像摄取装置用于摄取反射有所述条纹的所述光学元件，以进行原位检测；所述原位检测装置还包括第一位置微调机构和第二位置微调机构，其中：所述条纹显示装置通过所述第一位置微调机构设在所述检测支架上，所述第一位置微调机构能够调整所述条纹显示装置的俯仰与扭摆角度；所述图像摄取装置通过所述第二位置微调机构设在所述检测支架上，所述第二位置微调机构能够调整所述图像摄取装置的XYZ三个方向的位移以及俯仰与扭摆角度；所述检测定位装置包括间隔设于所述工作台上的第一定位模块和第二定位模块，所述原位检测装置包括设在所述检测支架上的第一定位杆和第二定位杆，其中：所述第一定位模块和第二定位模块均设有高精度的多个定位球，所述第一定位杆的底部设有第一定位球，所述第二定位杆的底部设有第二定位球，在所述原位检测装置翻转定位在所述检测定位装置上时，所述第一定位杆的底部和所述第二定位杆的底部分别与所述第一定位模块和所述第二定位模块对应的多个定位球配合定位。

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