申请/专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院;安徽中科德技智能科技有限公司

申请日：2021-08-19

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN113624461B

主分类号：G01M11/02

分类号：G01M11/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.30#授权;2021.11.26#实质审查的生效;2021.11.09#公开

摘要：本发明公开了一种基于线结构光的薄膜均匀性检测系统，包括成像单元、采集单元、处理单元、存储单元、控制单元；所述成像单元用于产生网格图像，依次包括光源、滤光片和网格衍射光栅，光源发出光线经过滤光片来进行光源光强和波长调节，再经过网格衍射光栅后进行衍射分光，形成连续的网格光斑投射到薄膜被测区域；所述采集单元包括载物台和多个线阵相机，用于采集所述网格图像，并进行多相机标定；所述处理单元用于采用预设的薄膜均匀性检测模型对所述网格图像进行识别，检测所述网格图像是否发生畸变，从而实现薄膜均匀一致性判别。本发明能够解决现有采集表面反光薄膜图像孤立噪声点多的问题，实现薄膜表面的均匀性检测。

主权项：1.一种基于线结构光的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，包括成像单元、采集单元、处理单元、存储单元、控制单元；所述成像单元用于产生网格图像，依次包括光源、滤光片、网格衍射光栅，光源发出光线经过滤光片来进行光源的光强和波长调节，再经过网格衍射光栅后进行衍射分光，形成连续的网格光斑投射到薄膜被测区域；所述网格衍射光栅采用电子光栅，得到多束分光束，通过透光栅条与不透光栅条获得相干波干涉条纹作为投影光，用于在薄膜被测区域上形成网格图像；所述成像单元还包括设置在光源与滤光片之间的偏振片，用于偏振光照明，解决高反光薄膜的均匀性检测问题；所述采集单元包括载物台、多个线阵相机，用于采集所述网格图像，并进行多相机标定；所述处理单元用于采用预设的薄膜均匀性检测模型对所述网格图像进行识别，检测所述网格图像是否发生畸变，从而实现薄膜均匀一致性判别；所述存储单元用于预存各类滤波算法、薄膜均匀性检测模型和所述线阵相机获得的薄膜均匀一致和非一致典型网格图像库；所述控制单元用于对所述成像单元、采集单元和处理单元的各种控制参数进行设定。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院合肥物质科学研究院;安徽中科德技智能科技有限公司 基于线结构光的薄膜均匀性检测系统

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