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申请/专利权人：浙江奥首材料科技有限公司
申请日：2022-10-08
公开（公告）日：2024-04-30
公开（公告）号：CN115595217B
主分类号：C11D7/32
分类号：C11D7/32;C11D7/50;C11D7/60;G03F7/42
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.04.30#授权;2023.02.07#实质审查的生效;2023.01.13#公开
摘要：本发明提供一种含羟胺的稳定溶液、含羟胺的半导体清洗液、其制备方法及用途。所述含羟胺的稳定溶液包括重量配比如下的各组分：羟胺及其衍生物5‑30份；螯合剂1‑5份；葫芦脲及其衍生物5‑20份。本发明通过葫芦脲及其衍生物对羟胺分子进行包结，避免羟胺分子与金属离子及酸碱性介质的直接接触；使用螯合剂对金属离子进行络合，确保从葫芦脲及其衍生物中释放的羟胺分子不会受到金属离子的催化而发生分解。本发明还公开了一种含羟胺的半导体清洗液，包括含羟胺的稳定溶液、碱、水溶性有机溶剂和超纯水。本发明含羟胺的半导体清洗液既可避免羟胺由于金属离子催化导致的分解，又可防止因高温及碱性导致的羟胺分解，能广泛应用于半导体清洗。
主权项：1.一种含羟胺的稳定溶液，其特征在于，由重量配比如下的各组分组成：羟胺及其衍生物5-30份；螯合剂1-5份；葫芦脲及其衍生物5-20份；所述羟胺及其衍生物为盐酸羟胺、硫酸羟胺、硝酸羟胺、羟胺、N-甲基羟胺、N,N-二甲基羟胺、N,N-二乙基羟胺，N-苯基羟胺和N-叔丁基羟胺中的一种或几种；所述螯合剂为“爪形”螯合剂，所述“爪形”螯合剂为4-酰基吡唑啉酮类化合物；所述葫芦脲及其衍生物为葫芦[5]脲、葫芦[6]脲、葫芦[7]脲、葫芦[8]脲、单羟基葫芦[6]脲、单羟基葫芦[7]脲、全羟基葫芦[5]脲和全羟基葫芦[6]脲中的一种或多种。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江奥首材料科技有限公司 含羟胺的稳定溶液、含羟胺的半导体清洗液、其制备方法及用途
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