申请/专利权人：深圳互喜智联科技有限公司

申请日：2024-01-30

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117649451B

主分类号：G06T7/77

分类号：G06T7/77;G06T7/13;G06T5/20;G06T7/64;G06T7/187;G06T5/70;G06T1/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.30#授权;2024.03.22#实质审查的生效;2024.03.05#公开

摘要：本发明涉及晶圆定位技术领域，具体涉及一种用于寻边器晶圆定位的视觉定位方法，通过获取晶圆图像的灰度图像，根据灰度图像各个边缘像素点的位置分布，确定灰度图像的噪声强度特征值；获取灰度图像的灰度游程矩阵，进而确定灰度图像的纹理信息密度参数；根据灰度图像中的晶圆槽口像素点和边缘像素点的位置分布，以及灰度图像的噪声强度特征值和纹理信息密度参数，确定搜索窗口尺寸；根据搜索窗口尺寸，对灰度图像进行非局部均值滤波，并根据滤波后的灰度图像进行晶圆定位。本发明通过自适应确定对晶圆图像的灰度图像进行非局部均值滤波过程中的搜索窗口尺寸，有效保证了滤波效果，从而提高了晶圆定位精度。

主权项：1.一种用于寻边器晶圆定位的视觉定位方法，其特征在于，包括以下步骤：获取晶圆图像的灰度图像，对所述灰度图像进行边缘检测，得到各个边缘像素点，并根据所述边缘像素点的位置分布，确定所述灰度图像的噪声强度特征值；获取所述灰度图像的灰度游程矩阵，并根据所述灰度游程矩阵中各个元素值的分布情况以及所述灰度图像的噪声强度特征值，确定所述灰度图像的纹理信息密度参数；确定所述灰度图像中的晶圆槽口像素点，根据所述晶圆槽口像素点和所述边缘像素点的位置分布，以及所述灰度图像的噪声强度特征值和纹理信息密度参数，确定对所述灰度图像进行非局部均值滤波过程中的搜索窗口尺寸；根据对所述灰度图像进行非局部均值滤波过程中的搜索窗口尺寸，对所述灰度图像进行非局部均值滤波，并根据滤波后的灰度图像进行晶圆定位；确定所述灰度图像的噪声强度特征值，包括：根据所述边缘像素点的位置分布，对所述边缘像素点进行直线检测，得到各个边缘线段，确定每个所述边缘线段中所包含边缘像素点的总数量；确定各个所述边缘线段与设定方向的夹角，对所述夹角进行统计，确定每种类型的夹角的出现频率；将所有所述边缘像素点中不位于所述边缘线段上的边缘像素点确定为非直线边缘点，对所述非直线边缘点进行连通域检测，得到每个所述非直线边缘点所位于的边缘连通域，并确定所述边缘连通域的曲率；根据每个所述边缘线段中所包含边缘像素点的总数量、每种类型的夹角的出现频率以及每个所述非直线边缘点所位于的边缘连通域的曲率，确定所述灰度图像的噪声强度特征值；确定所述灰度图像的噪声强度特征值，对应的计算公式为： ；其中，表示所述灰度图像的噪声强度特征值；表示所述灰度图像中所有边缘线段与设定方向的夹角中第种夹角的出现频率；表示所述灰度图像中所有边缘线段与设定方向的夹角中所出现的夹角的种类数；表示所述灰度图像中所有边缘线段与设定方向的夹角中第种夹角所对应的边缘线段中所包含边缘像素点的平均总数量；表示所述灰度图像中所有边缘线段中所包含边缘像素点的总数量；表示对数函数的底数；表示所述灰度图像中第个非直线边缘点在其所位于的边缘连通域上的曲率；表示所述灰度图像中所有非直线边缘点在其所位于的边缘连通域上的曲率的平均值；表示所述灰度图像中所有非直线边缘点的总数目；表示双曲正切函数；确定所述灰度图像的纹理信息密度参数，对应的计算公式为： ； ；其中，表示所述灰度图像的纹理信息密度参数；表示所述灰度游程矩阵中第个灰阶对应的行中第列元素值；表示所述灰度游程矩阵中灰阶的总数目；表示所述灰度游程矩阵中第个灰阶属于晶圆芯片的概率参数；表示所述灰度游程矩阵的列数；表示所述灰度游程矩阵中第个灰阶对应的行中第列元素值与其相邻两列元素值之间的最大差异值；表示所述灰度游程矩阵中第个灰阶对应的行中第列元素值对应的导数；表示所述灰度游程矩阵中第个灰阶对应的行中各列元素值的导数均值；表示归一化函数；确定对所述灰度图像进行非局部均值滤波过程中的搜索窗口尺寸，包括：确定包含所述晶圆槽口像素点的边缘线段，并将所述包含所述晶圆槽口像素点的边缘线段确定为目标边缘线段；根据所述灰度图像中所述晶圆槽口像素点的总数目、各个所述目标边缘线段与设定方向的夹角的差异、所述边缘线段的长度，以及所述灰度图像的噪声强度特征值和纹理信息密度参数，确定对所述灰度图像进行非局部均值滤波过程中的搜索窗口尺寸；确定对所述灰度图像进行非局部均值滤波过程中的搜索窗口尺寸，对应的计算公式为： ；其中，表示对灰度图像进行非局部均值滤波过程中的搜索窗口尺寸；表示所述灰度图像中的晶圆槽口像素点的总数目；表示所述灰度图像中包含晶圆槽口像素点的第条目标边缘线段与设定方向的夹角；表示所述灰度图像中包含晶圆槽口像素点的所有目标边缘线段与设定方向的夹角的平均值；表示所述灰度图像中包含晶圆槽口像素点的所有目标边缘线段的总数目；表示所述灰度图像中所有所述边缘线段的长度的最大值。

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百度查询： 深圳互喜智联科技有限公司 一种用于寻边器晶圆定位的视觉定位方法

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