申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

申请日：2024-02-02

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117681084B

主分类号：B24B13/01

分类号：B24B13/01;B24B49/12;B24B1/00;B24B13/00;B24B27/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.30#授权;2024.03.29#实质审查的生效;2024.03.12#公开

摘要：本发明涉及光学元件加工技术领域，涉及一种抛光与原位检测装置及抛光加工方法；装置包括工作台、抛光机构、原位检测装置及检测定位装置，检测定位装置设于工作台上；原位检测装置包括可翻转设在工作台上的检测支架、设在检测支架上的条纹显示装置及图像摄取装置，对工作台上的加工件进行检测时，原位检测装置能够翻转定位在检测定位装置上，条纹显示装置能够将显示的条纹反射至加工件，图像摄取装置用于摄取反射有条纹的加工件，以进行原位检测。本发明的抛光与原位检测装置，通过可翻转的设置及高精度的定位装置，可实现在同一加工件的加工检测迭代过程中快速的原位检测，极大地提高了加工检测的迭代速度，适用于光学元件的大规模批量化制造。

主权项：1.一种抛光与原位检测装置，其特征在于，包括用于抛光与原位检测的工作台、抛光机构、原位检测装置及检测定位装置，其中：所述检测定位装置设于所述工作台上；所述原位检测装置包括可翻转设在所述工作台上的检测支架、设在所述检测支架上的条纹显示装置及图像摄取装置，对所述工作台上的加工件进行检测时，所述原位检测装置能够翻转定位在所述检测定位装置上，所述条纹显示装置能够将显示的条纹反射至所述加工件，所述图像摄取装置用于摄取反射有所述条纹的所述加工件，以进行原位检测；所述检测定位装置包括间隔设于所述工作台上的第一定位模块和第二定位模块，所述原位检测装置包括设在所述检测支架上的第一定位杆和第二定位杆，其中：所述第一定位模块和第二定位模块均设有高精度的多个定位球，所述第一定位杆的底部设有第一定位球，所述第二定位杆的底部设有第二定位球，在所述原位检测装置翻转定位在所述检测定位装置上时，所述第一定位杆的底部和所述第一定位模块的多个定位球配合定位，所述第二定位杆的底部和所述第二定位模块的多个定位球配合定位；所述原位检测装置还包括连接于所述检测支架上的连接杆，所述工作台上还设有用于配合所述原位检测装置翻转的定位件，所述连接杆和所述定位件可翻转设置；所述抛光与原位检测装置还包括铰链机构，所述连接杆和所述定位件通过所述铰链机构实现可翻转；所述抛光机构包括抛光装置，所述抛光装置包括抛光磨头，所述抛光磨头包括抛光磨头主体，至少所述抛光磨头主体的部分被配置为阶梯圆柱结构，包括依次连接的第一柱体、第二柱体和第三柱体，且所述第一柱体、所述第二柱体和所述第三柱体的外径依次减小，其中：装卡装置内设有弹性安装空间，且所述装卡装置的底部被配置成能够穿设所述第三柱体且与所述第二柱体抵接，装卡外壳被配置成能够穿设所述装卡装置及所述抛光磨头主体，且所述装卡外壳的内腔与所述装卡装置的外壁和所述抛光磨头主体的外壁卡接；所述抛光磨头主体和所述装卡装置还贯穿设有用于抛光液传送的导流槽，其中：所述导流槽分为设在所述抛光磨头主体上用于输入抛光液的第一外径通道和与所述第一外径通道连通的圆梯台形通道，及设在所述装卡装置上与所述圆梯台形通道连通的第二外径通道，所述第一外径通道的直径大于所述第二外径通道的直径。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 抛光与原位检测装置及抛光加工方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD