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申请/专利权人：无锡京运通科技有限公司
申请日：2023-10-12
公开（公告）日：2024-04-30
公开（公告）号：CN220872369U
主分类号：G01N21/94
分类号：G01N21/94;G01N21/01
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.04.30#授权
摘要：本实用新型涉及一种硅片脏污光源检测装置，所述硅片脏污光源检测装置包括用于输送硅片的第一传送带、第二传送带、第三传送带，所述第一传送带与第二传送带之间、第二传送带与第三传送带之间设置间隔，所述第一传送带与第二传送带之间近端依次设置壳体和摄像头且壳体开口朝向远端，所述第二传送带与第三传送带之间远端依次设置壳体和摄像头且壳体开口朝向近端，所述壳体包括弧形的反光瓦、设置在所述反光瓦两侧的侧板、设置在所述反光瓦远端两侧的顶架，所述顶架用于固定灯条，所述反光瓦近端开设检查口，所述反光瓦用于反射灯条光线，所述摄像头通过检查口拍摄硅片表面，结构简单，且光线集中，保证拍照时硅片背景亮度。
主权项：1.一种硅片脏污光源检测装置，其特征在于：所述硅片脏污光源检测装置包括用于输送硅片的第一传送带、第二传送带、第三传送带，所述第一传送带与第二传送带之间、第二传送带与第三传送带之间设置间隔，所述第一传送带与第二传送带之间近端依次设置壳体和摄像头且壳体开口朝向远端，所述第二传送带与第三传送带之间远端依次设置壳体和摄像头且壳体开口朝向近端，所述壳体包括弧形的反光瓦、设置在所述反光瓦两侧的侧板、设置在所述反光瓦远端两侧的顶架，所述顶架用于固定灯条，所述反光瓦近端开设检查口，所述反光瓦用于反射灯条光线，所述摄像头通过检查口拍摄硅片表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡京运通科技有限公司 一种硅片脏污光源检测装置
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