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申请/专利权人：广州奥松电子股份有限公司
摘要：本发明公开了一种适用于晶圆级嗅觉传感器标定的分流机构、标定系统及标定方法，所述分流机构上设有多组用于容纳感应芯片感应端的凹槽，所述分流机构内设置有流道结构，流道结构的输出端连通所有所述凹槽；其中，所述分流机构由硅基半导体材料经MEMS工艺加工一体成型，所述分流机构设置有连通流道结构的进气孔，所述气源的输出端与所述进气孔连接。本发明缩小了装置体积，减少了标定过程用气量，提高了标定效率。
主权项：1.一种适用于晶圆级嗅觉传感器标定的分流机构，其特征在于，所述分流机构上设有多组用于容纳所述晶圆级嗅觉传感器的感应芯片的感应端的凹槽，所述分流机构内设置有流道结构，流道结构的输出端连通所有所述凹槽；还设置有连通流道结构的进气孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广州奥松电子股份有限公司 一种适用于晶圆级嗅觉传感器标定的分流机构、标定系统及标定方法
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