申请/专利权人:四川晶科能源有限公司
申请日:2024-02-01
公开(公告)日:2024-05-03
公开(公告)号:CN117966256A
主分类号:C30B15/32
分类号:C30B15/32
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.21#实质审查的生效;2024.05.03#公开
摘要:本发明公开了一种自动换晶装置及自动换晶方法,涉及晶体生长技术领域,包括:石墨夹头容纳腔、第一籽晶容纳腔、第一抬升模块、第一夹臂、第二夹臂、第一籽晶存放腔和第二籽晶存放腔;第一籽晶容纳腔与石墨夹头容纳腔连通,且位于石墨夹头容纳腔的下方;第一抬升模块位于第一籽晶容纳腔的下方;第一夹臂位于第一籽晶存放腔的上方,可沿水平方向在第一籽晶存放腔和第一籽晶容纳腔之间的上方区域旋转;第二夹臂位于第二籽晶存放腔的上方,可沿水平方向在第二籽晶存放腔和第一籽晶容纳腔之间的上方区域旋转。如此可实现籽晶的自动更换,有利于提高籽晶更换效率,避免人工操作的危险性以及对籽晶造成的污染。
主权项:1.一种自动换晶装置,其特征在于,包括:石墨夹头容纳腔、第一籽晶容纳腔、第一抬升模块、第一夹臂、第二夹臂、第一籽晶存放腔和第二籽晶存放腔;所述第一籽晶容纳腔与所述石墨夹头容纳腔连通,且位于所述石墨夹头容纳腔的下方;所述第一抬升模块位于所述第一籽晶容纳腔的下方,用于抬升所述第一籽晶容纳腔中的第一籽晶;所述第一夹臂位于所述第一籽晶存放腔的上方,可沿水平方向在所述第一籽晶存放腔和所述第一籽晶容纳腔之间的上方区域旋转;所述第二夹臂位于所述第二籽晶存放腔的上方,可沿水平方向在所述第二籽晶存放腔和所述第一籽晶容纳腔之间的上方区域旋转。
全文数据:
权利要求:
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