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申请/专利权人：之江实验室
申请日：2024-02-04
公开（公告）日：2024-05-03
公开（公告）号：CN117970752A
主分类号：G03F7/20
分类号：G03F7/20;G02B27/28
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.21#实质审查的生效;2024.05.03#公开
摘要：本申请涉及一种基于矢量光场调控的超衍射极限激光直写装置和方法，该装置包括：激光输出模块，产生飞秒激光；准直扩束模块，将激光输出模块产生的飞秒激光的光斑直径扩大至预设的直径大小；偏振纯化与能量控制模块，将准直扩束模块输出的飞秒激光进行偏振纯化，得到线偏振激光并控制线偏振激光的偏振角度；矢量偏振激光调制模块，包括沃拉斯顿棱镜和空间光调制器；沃拉斯顿棱镜，对线偏振激光进行分离；空间光调制器，对线偏振激光进行相位调控，合成目标矢量偏振激光；共焦缩束模块，缩小目标矢量偏振激光的光斑直径；扫描直写模块，将共焦缩束模块输出的目标矢量偏振激光进行预设图案的激光直写。提高了光学器件调用的灵活性和可迁移性。
主权项：1.一种基于矢量光场调控的超衍射极限激光直写装置，其特征在于，所述基于矢量光场调控的超衍射极限激光直写装置按照光路设置依次包括：激光输出模块、准直扩束模块、偏振纯化与能量控制模块、矢量偏振激光调制模块、共焦缩束模块、扫描直写模块以及照明观测模块；所述激光输出模块，用于产生飞秒激光；所述准直扩束模块，用于将所述激光输出模块产生的飞秒激光的光斑直径扩大至预设的直径大小；所述偏振纯化与能量控制模块，用于将所述准直扩束模块输出的飞秒激光进行偏振纯化，得到线偏振激光并控制所述线偏振激光的偏振角度；所述线偏振激光包括垂直偏振分量和水平偏振分量；所述矢量偏振激光调制模块，包括沃拉斯顿棱镜和空间光调制器；所述沃拉斯顿棱镜，用于对所述线偏振激光的垂直偏振分量和水平偏振分量进行分离；所述空间光调制器，用于基于预设的相位分布，对所述线偏振激光进行相位调控，合成目标矢量偏振激光；所述共焦缩束模块，用于缩小所述目标矢量偏振激光的光斑直径；所述扫描直写模块，用于将所述共焦缩束模块输出的所述目标矢量偏振激光紧聚焦至样品面并进行预设图案的激光直写；所述照明观测模块，用于监测所述激光直写的过程与刻写结果。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 之江实验室 基于矢量光场调控的超衍射极限激光直写装置和方法
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