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申请/专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日：2024-04-01
公开（公告）日：2024-05-03
公开（公告）号：CN117966255A
主分类号：C30B15/30
分类号：C30B15/30
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.21#实质审查的生效;2024.05.03#公开
摘要：本申请公开了一种籽晶系统，用于提拉回转晶棒，该籽晶系统包括：旋转基体、回转台、抵消部和驱动组件，回转台活动设置在旋转基体上，且回转台连接有一用于提拉晶棒的软轴，通过回转台带动软轴周向旋转，抵消部活动设置在旋转基体上，且抵消部与回转台的重心均位于软轴的轴向中心线上，驱动组件被配置为分别与回转台和抵消部传动连接，驱动组件用于驱动回转台沿第一周向转动，驱动组件还用于驱动抵消部沿第二周向转动，其中，第一周向和第二周向相反。通过上述设置，防止晶棒在转速达到共振转速或者其亚共振区间时籽晶系统产生共振，保证设备稳定工作，降低生产风险。
主权项：1.一种可消除共振的籽晶系统，用于提拉回转晶棒，其特征在于，包括：旋转基体；回转台，所述回转台活动设置在所述旋转基体上，且所述回转台连接有一用于提拉所述晶棒的软轴，通过所述回转台带动所述软轴周向旋转；抵消部，所述抵消部活动设置在所述旋转基体上，且所述抵消部与所述回转台的重心均位于所述软轴的轴向中心线上；驱动组件，所述驱动组件被配置为分别与所述回转台和所述抵消部传动连接，所述驱动组件用于驱动所述回转台沿第一周向转动，所述驱动组件还用于驱动所述抵消部沿第二周向转动，其中，所述第一周向和所述第二周向相反。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江晶盛机电股份有限公司 可消除共振的籽晶系统
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