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申请/专利权人：北京中科科仪股份有限公司
摘要：本发明公开了一种扫描电镜样品室及其快速放气方法，属于扫描电镜技术领域，包括：样品室，其上仅设有一个供外部气体进入样品室内的放气孔；放气阀与放气孔密封连接，用于控制放气孔与外部气体连通或断开；控制器与放气阀电连接，用于通过周期性脉冲信号控制放气阀周期性的开启或关闭放气孔。如此设计，与传统扫描电镜样品室配置两个真空放气阀及两个孔径大小不同放气孔的扫描电镜样品室相比，在以同样短的时间完成样品室放气破空并保证分子泵安全停机的前提下，可以节省一路真空放气阀及放气孔，有利于减少扫描电镜的体积，节省空间，节省物料和成本，实现扫描电镜的小型化设计。
主权项：1.一种扫描电镜样品室，其特征在于，包括：样品室1，其上仅设有一个供外部气体进入所述样品室1内的放气孔；放气阀3，与所述放气孔密封连接，用于控制所述放气孔与外部气体连通或断开；控制器，与所述放气阀3电连接，用于通过周期性脉冲信号控制所述放气阀3周期性的开启或关闭所述放气孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京中科科仪股份有限公司 一种扫描电镜样品室及其快速放气方法
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