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申请/专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
申请日：2024-03-14
公开（公告）日：2024-05-03
公开（公告）号：CN117976504A
主分类号：H01J37/32
分类号：H01J37/32;C23C16/50
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.21#实质审查的生效;2024.05.03#公开
摘要：本申请公开了电极馈入装置和镀膜设备。电极馈入装置包括桨杆、固定件和承舟馈入件。固定件套设于桨杆。承舟馈入件可拆卸安装于固定件。其中，固定件和承舟馈入件的其中一者设置有安装轴，另一者设置有与安装轴对应的安装槽，安装轴与安装槽配合，以将承舟馈入件安装于固定件。通过上述方式，本申请能够方便地将承舟馈入件进行拆卸维护，减少了镀膜设备的维护时间，提高了生产效率。
主权项：1.一种电极馈入装置，其特征在于，包括：桨杆；固定件，套设于所述桨杆；承舟馈入件，可拆卸安装于所述固定件；其中，所述固定件和所述承舟馈入件的其中一者设置有安装轴，另一者设置有与所述安装轴对应的安装槽，所述安装轴与所述安装槽配合，以将所述承舟馈入件安装于所述固定件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏微导纳米科技股份有限公司 电极馈入装置和镀膜设备
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