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申请/专利权人：江苏光微半导体有限公司;无锡科晟光子科技有限公司
申请日：2024-03-28
公开（公告）日：2024-05-03
公开（公告）号：CN117968903A
主分类号：G01L1/24
分类号：G01L1/24;G01H9/00;G01L11/02;B81B7/02
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.21#实质审查的生效;2024.05.03#公开
摘要：本发明涉及光纤传感技术领域，尤其是一种基于MEMS膜的组装式光纤F‑P声压传感探头。其包括金属套管和金属盖体，所述金属盖体前后两端分别为开口端和封闭端，所述金属套管一端设置凸出的外螺纹段，金属套管一端通过外螺纹段连接金属盖体的开口端；金属盖体的封闭端内侧表面中心设置MEMS膜。本发明采用氮化硅膜和聚对苯二甲酸乙二醇酯膜构成夹心式的MEMS膜，提高了MEMS膜的结构强度和弹性模量，提高了反射率和灵敏度；本发明MEMS膜的周期性环状方向波纹沟道结构能够充分释放MEMS膜的初始应力，再加上夹心式结构的叠加使得MEMS膜在声压作用下具有更大的位移量和高反射率，从而提高其声压检测的灵敏度。
主权项：1.一种基于MEMS膜的组装式光纤F-P声压传感探头，包括金属套管（1）和金属盖体（2），其特征在于：所述金属盖体（2）前后两端分别为开口端和封闭端，所述金属套管（1）一端设置凸出的外螺纹段（7），金属套管（1）一端通过外螺纹段（7）连接金属盖体（2）的开口端；金属盖体（2）的封闭端内侧表面中心设置MEMS膜（5），金属套管（1）内中心设置前后贯通的安装孔（8），所述安装孔（8）内插装陶瓷插芯（4），所述陶瓷插芯（4）内中心设置前后贯通的光纤插孔，所述光纤插孔内插装单模光纤（3），所述单模光纤（3）一端伸入金属盖体（2）内腔中并面向所述MEMS膜（5），MEMS膜（5）和单模光纤（3）的端面相互平行设置，MEMS膜（5）和单模光纤（3）的端面构成F-P腔，中间的空气为F-P腔介质。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏光微半导体有限公司;无锡科晟光子科技有限公司 一种基于MEMS膜的组装式光纤F-P声压传感探头
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