申请/专利权人:陈大治;陈仲玮
申请日:2023-12-13
公开(公告)日:2024-05-03
公开(公告)号:CN117976496A
主分类号:H01J37/073
分类号:H01J37/073
优先权:["20230121 US US18/157817"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.21#实质审查的生效;2024.05.03#公开
摘要:本发明公开了一种场发射电子源,其包括i单晶钨丝,其具有从丝主体延伸出来的尖端,以及ii在尖端的部分表面或整个表面上形成的ZrO。在优选设计中,单晶钨丝放置在由氧气和其它气体组成的气体介质中。氧气与其它气体的摩尔比大于1:1。
主权项:1.一种场发射电子源,其特征在于包括置于气体介质中的晶体丝,所述晶体丝为单晶钨丝、LaB6晶体棒或CeB6晶体棒;其中,气体介质由氧气和非氧气体组成,并且其中氧气和非氧气体之间的摩尔比大于1:1、10:1、50:1或100:1。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 陈大治;陈仲玮 场发射型电子源和使用该电子源的带电粒子束装置
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