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申请/专利权人：诺思(天津)微系统有限责任公司
申请日：2021-04-23
公开（公告）日：2024-05-03
公开（公告）号：CN115241622B
主分类号：H01P7/00
分类号：H01P7/00;H01P1/20
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.03#授权;2022.11.11#实质审查的生效;2022.10.25#公开
摘要：本发明提供一种谐振器、滤波器及电子设备。谐振器包括：衬底；声学镜；底电极；压电层；顶电极；以及可导电的导电层；衬底、声学镜、底电极、压电层和顶电极依次层叠设置，且声学镜、底电极、压电层和顶电极的重叠部分共同形成谐振器的有效区域；导电层覆盖顶电极的至少部分边缘区域，且导电层和顶电极电连接，导电层具有悬空部，悬空部和顶电极之间具有悬空间隙，悬空间隙的高度小于或等于1μm；悬空部位于导电层的朝向或背离有效区域内部的一侧；或者，悬空部位于导电层的朝向及背离有效区域内部的一侧。本发明的谐振器、滤波器及电子设备，器件可靠性较高，不易失效。
主权项：1.一种谐振器，其特征在于，包括：衬底；声学镜；底电极；压电层；顶电极；以及可导电的导电层；所述衬底、所述声学镜、所述底电极、所述压电层和所述顶电极依次层叠设置，且所述声学镜、所述底电极、所述压电层和所述顶电极的重叠部分共同形成所述谐振器的有效区域；所述导电层覆盖所述顶电极的至少部分边缘区域，且所述导电层和所述顶电极电连接，所述导电层具有悬空部，所述悬空部和所述顶电极之间具有悬空间隙，所述悬空间隙的高度小于或等于1μm；所述悬空部位于所述导电层的朝向或背离所述有效区域内部的一侧；或者，所述悬空部位于所述导电层的朝向及背离所述有效区域内部的一侧；所述悬空间隙的高度小于或等于所述悬空部的横向长度的12。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 诺思(天津)微系统有限责任公司 谐振器、滤波器及电子设备
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