申请/专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司

申请日：2024-02-02

公开（公告）日：2024-05-03

公开（公告）号：CN117690858B

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;H01L21/66;G01R1/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.03#授权;2024.03.29#实质审查的生效;2024.03.12#公开

摘要：本申请提供一种机械手组件及探针台。机械手组件包括：第一机械手，第一机械手用于承载晶圆，第一机械手包括相对设置的第一手臂及第一底板，第一手臂承载于第一底板；第二机械手，第二机械手用于承载晶圆，第二机械手包括相对设置的第二手臂及第二底板，第二底板与第一底板相对设置，且第二底板固定连接于第一底板，第二手臂承载于第二底板邻近第一底板的一侧；及第一传动件，第一传动件设置于第二底板背离第一底板的一侧，第二底板及第一底板能够在第一传动件的带动下以第一机械手的中心轴为旋转中心且沿第一方向及第一方向的反方向旋转，中心轴沿第一底板及第二底板的排布方向延伸，使得机械手组件在探针台中能够保持平稳的运输状态。

主权项：1.一种机械手组件，其特征在于，所述机械手组件包括：第一机械手，所述第一机械手用于承载晶圆，所述第一机械手包括相对设置的第一手臂及第一底板，所述第一手臂承载于所述第一底板；第二机械手，所述第二机械手用于承载晶圆，所述第二机械手包括相对设置的第二手臂及第二底板，所述第二底板与所述第一底板相对设置，且所述第二底板固定连接于所述第一底板，所述第二手臂承载于所述第二底板邻近所述第一底板的一侧；及第一传动件，所述第一传动件设置于所述第二底板背离所述第一底板的一侧，所述第二底板及所述第一底板能够在所述第一传动件的带动下以所述第一机械手的中心轴为旋转中心且沿第一方向及第一方向的反方向旋转，所述第一方向垂直于所述第一底板及所述第二底板的排布方向，所述中心轴沿所述第一底板及所述第二底板的排布方向延伸；其中，所述第一机械手还包括第二传动件，所述第二传动件固定于所述第一底板，所述第一手臂连接于所述第二传动件，所述第一手臂能够在所述第二传动件的带动下沿第二方向往复移动，所述第二方向垂直于所述第一底板及所述第二底板的排布方向；所述第二机械手还包括第三传动件，所述第三传动件固定于所述第二底板，所述第二手臂连接于所述第三传动件，所述第二手臂能够在所述第三传动件的带动下沿所述第二方向往复移动，且所述第一手臂沿所述第二方向的运动与所述第二手臂沿第二方向的运动为相互独立；所述机械手组件还包括第一侧板及第二侧板，所述第一侧板及所述第二侧板相对设置于所述第一底板的两侧，所述第一侧板固定连接于所述第一底板及所述第二底板，所述第二侧板固定连接于所述第一底板及所述第二底板；所述第一底板包括依次相连的第一承载部、第二承载部及第三承载部，且所述第一承载部固定连接于所述第一侧板，所述第三承载部固定连接于所述第二侧板，沿所述第二方向，所述第二承载部的长度大于所述第一承载部的长度，且所述第二承载部的长度大于所述第三承载部的长度。

全文数据：

权利要求：

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