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申请/专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
摘要：本发明公开了一种强韧耐蚀MAX相多层复合涂层及其制备方法与应用。所述制备方法包括：采用高功率脉冲磁控溅射技术，以TiAl靶作为靶材，在金属基体表面沉积形成TiAl过渡层；采用高功率脉冲磁控溅射技术和直流磁控溅射技术，在所述TiAl过渡层的表面交替沉积TiAl层和C层，从而形成Ti‑Al‑C中间层；采用高功率脉冲磁控溅射技术和直流磁控溅射技术，在所述Ti‑Al‑C中间层的表面沉积形成Ti‑Al‑C顶层；对沉积有涂层的金属基体进行真空退火处理，制得强韧耐蚀MAX相多层复合涂层。本发明制备的强韧耐蚀MAX相多层复合涂层具有较高的硬度、韧性和更强的耐腐蚀性，能够在海洋环境中工作的装备部件提供防护性能。
主权项：1.一种强韧耐蚀MAX相多层复合涂层的制备方法，其特征在于，包括：采用高功率脉冲磁控溅射技术，以TiAl靶作为靶材，以惰性气体为工作气体，在金属基体表面沉积形成TiAl过渡层；采用高功率脉冲磁控溅射技术和直流磁控溅射技术，以TiAl靶和C靶作为靶材，在所述TiAl过渡层的表面交替沉积TiAl层和C层，从而形成Ti-Al-C中间层；其中，基体偏压为0V；所述Ti-Al-C中间层包含10~50个交替层叠周期层，且每一交替层叠周期层包含一TiAl层和一C层；其中，高功率脉冲磁控溅射技术使用TiAl靶，直流磁控溅射技术使用C靶；采用高功率脉冲磁控溅射技术和直流磁控溅射技术，以TiAl靶和C靶作为靶材，在所述Ti-Al-C中间层的表面沉积形成Ti-Al-C顶层；其中，基体偏压为-100~-50V；其中，高功率脉冲磁控溅射技术使用TiAl靶，直流磁控溅射技术使用C靶；以及，对沉积有TiAl过渡层、Ti-Al-C中间层和Ti-Al-C顶层的金属基体进行真空退火处理，制得强韧耐蚀MAX相多层复合涂层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种强韧耐蚀MAX相多层复合涂层及其制备方法与应用
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