龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：上海普达特半导体设备有限公司;普达特半导体设备(徐州)有限公司
申请日：2023-08-21
公开（公告）日：2024-05-03
公开（公告）号：CN116845013B
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.03#授权;2023.10.24#实质审查的生效;2023.10.03#公开
摘要：本公开内容涉及一种用于清洗设备的固定装置，其包括：液体收集机构环，所述液体收集机构环被构造用于收集所述清洗设备在清洗时所形成的液体；至少三个连接件，所述至少三个连接件与所述液体收集机构环固定连接，其中，所述至少三个连接件中的至少一个连接件包括调节槽并且所述调节槽沿着所述液体收集机构环的径向方向设置；以及滑动导向件，所述滑动导向件被设置在所述调节槽之中。在该固定装置之中，通过连接件中设置调节槽结构，从而能够有针对性地应对液体收集机构环的热胀冷缩，从而能够提高液体收集机构环的使用寿命，进而提高依据本公开内容所提出的用于清洗设备的固定装置的可用性。
主权项：1.一种用于清洗设备的固定装置，其特征在于，所述固定装置包括：液体收集机构环，所述液体收集机构环被构造用于收集所述清洗设备在清洗时所形成的液体；至少三个连接件，所述至少三个连接件与所述液体收集机构环固定连接，其中，所述至少三个连接件中的至少一个连接件包括调节槽并且所述调节槽沿着所述液体收集机构环的径向方向设置；滑动导向件，所述滑动导向件被设置在所述调节槽之中；以及与所述至少三个连接件相对应的至少三个紧固螺钉，所述至少三个紧固螺钉被设置在所述液体收集机构环上，其中，所述紧固螺钉具有在纵向轴线上的不同直径的第一分段和第二分段，其中，所述连接件中设置有通孔，所述通孔包括与所述第一分段的直径相对应的第一部分和与所述第二分段的直径相对应的第二部分。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海普达特半导体设备有限公司;普达特半导体设备(徐州)有限公司 用于清洗设备的固定装置以及用于半导体设备的清洗设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号