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申请/专利权人：株式会社爱德万测试
申请日：2022-03-18
公开（公告）日：2024-05-03
公开（公告）号：CN114994424B
主分类号：G01R31/00
分类号：G01R31/00;G01R1/02;G01R1/04
优先权：["20211022 US 17/508,077"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.03#授权;2022.09.30#实质审查的生效;2022.09.02#公开
摘要：提供能抑制异物向DUT附着的测试用载具。以收容有DUT90的状态被搬运的测试用载具1具备：DUT吸附保持用的贯通孔64，与DUT90对置配置；以及可动阀70，伴随贯通孔64的吸引而开闭贯通孔64，可动阀70在贯通孔64的吸引时敞开贯通孔64，而在贯通孔64的非吸引时关闭贯通孔64。
主权项：1.一种测试用载具，以收容有被测试电子部件DUT的状态被搬运，所述测试用载具具备：DUT吸附保持用的贯通孔，与所述DUT对置配置；以及可动阀，基于所述贯通孔的吸引而开闭所述贯通孔，所述可动阀基于所述贯通孔的吸引而移动或变形，从而在所述贯通孔的吸引时敞开所述贯通孔，而在所述贯通孔的非吸引时关闭所述贯通孔，所述测试用载具还具备：保持构件，保持所述DUT；以及盖构件，覆盖所述DUT，且能装卸地固定于所述保持构件，所述贯通孔以贯通所述盖构件的盖主体的方式形成于所述盖主体，所述盖主体具有与所述DUT接触的接触面，所述贯通孔的第一开口在所述接触面开口，所述贯通孔的第二开口在所述盖主体的与所述接触面相反一侧的面处开口，所述第二开口是所述贯通孔的与所述第一开口相反一侧的开口。
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