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申请/专利权人：欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔;莫尔蒂诺工具工程株式会社
申请日：2019-11-11
公开（公告）日：2024-05-03
公开（公告）号：CN113874540B
主分类号：C23C14/06
分类号：C23C14/06;C23C14/32
优先权：["20181109 US 62/757,954"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.03#授权;2022.01.21#实质审查的生效;2021.12.31#公开
摘要：本发明披露了一种用于生产富铝AlxTi1‑xN基薄膜的非反应性PVD涂覆工艺，该薄膜具有基于薄膜中的铝钛总量的大于75原子％的铝含量，并且该薄膜具有立方晶体结构和柱状微观结构，其中，陶瓷靶被用作富铝AlxTi1‑xN基薄膜的材料源。
主权项：1.一种非反应性PVD涂覆工艺，用于生产富铝AlxTi1-xN基薄膜，该薄膜具有基于该薄膜中的铝钛总量的大于75原子％的铝含量，立方晶体结构和柱状微观结构，其中，AlTiN陶瓷靶被用作所述富铝AlxTi1-xN基薄膜的材料源，其中，所述涂覆是在未使用反应性气体的情况下执行的，其中，负偏电压被施加至待涂覆基材，其中，被施加至该基材的偏电压为小于120V。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔;莫尔蒂诺工具工程株式会社 从陶瓷靶沉积的立方富铝AlTiN涂层
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皖公网安备 34010402703815号