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【实用新型】一种贵金属镶嵌复合靶_广州番禺职业技术学院_202322579237.7 

申请/专利权人:广州番禺职业技术学院

申请日:2023-09-22

公开(公告)日:2024-05-03

公开(公告)号:CN220887665U

主分类号:C23C14/35

分类号:C23C14/35

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.05.03#授权

摘要:本实用新型公开了一种贵金属镶嵌复合靶,包括紫铜背板、设于紫铜背板上的贵金属靶板及设于贵金属靶板上的若干靶块,贵金属靶板上设有溅射刻蚀区域,溅射刻蚀区域上等距离开设有若干镶嵌孔,各靶块镶嵌在镶嵌孔上。上述贵金属镶嵌复合靶在贵金属靶板的溅射刻蚀区域中,镶嵌相同或者不同材料的靶块,以实现靶材在使用过程中是始终按照固定的比例进行溅射,保证膜层颜色的稳定,满足首饰表面膜层的装饰效果的需要。

主权项:1.一种贵金属镶嵌复合靶,其特征在于,包括紫铜背板、设于所述紫铜背板上的贵金属靶板及设于所述贵金属靶板上的若干靶块,所述贵金属靶板上设有溅射刻蚀区域,所述溅射刻蚀区域上等距离开设有若干镶嵌孔,各所述靶块镶嵌在所述镶嵌孔上。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 广州番禺职业技术学院 一种贵金属镶嵌复合靶

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