申请/专利权人:江苏汇成光电有限公司
申请日:2023-09-11
公开(公告)日:2024-05-03
公开(公告)号:CN220879471U
主分类号:B05C15/00
分类号:B05C15/00;B05C5/02
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.05.03#授权
摘要:本实用新型公开了半导体加工制造领域内的一种防护抽屉导轨颗粒污染装置,包括点胶机台,点胶机台上开设有安装凹槽,安装凹槽内设置有可推拉的抽屉,抽屉的左右两侧均设有导轨组件,每侧导轨组件均与安装凹槽的相应内壁相连接,抽屉的左右两侧均设置有防护组件,防护组件包括上遮挡件和下遮挡件,上遮挡件和下遮挡件均包括竖直的安装部,安装部与抽屉对应一侧相固定连接,安装部靠近导轨的一端一体设有平遮挡部,平遮挡部的朝外一端一体设有竖遮挡部,竖遮挡部下端设有水平的防脱出部,防脱出部的长度小于平遮挡部的长度,上遮挡件和下遮挡件分别位于相应导轨组件的上方和下方。本实用新型能够避免金属颗粒影响IC。
主权项:1.一种防护抽屉导轨颗粒污染装置,包括点胶机台,点胶机台上开设有安装凹槽,安装凹槽内设置有可推拉的抽屉,抽屉的左右两侧均设有导轨组件,每侧导轨组件均与安装凹槽的相应内壁相连接,其特征在于,所述抽屉的左右两侧均设置有防护组件,两组所述防护组件与两组导轨组件一一对应设置,所述防护组件包括上遮挡件和下遮挡件,上遮挡件和下遮挡件均包括竖直的安装部,安装部与抽屉对应一侧相固定连接,安装部靠近导轨的一端一体设有平遮挡部,平遮挡部的朝外一端一体设有竖遮挡部,竖遮挡部朝向导轨组件延伸设置,竖遮挡部下端设有水平的防脱出部,防脱出部朝向抽屉延伸设置,防脱出部的长度小于平遮挡部的长度,上遮挡件和下遮挡件分别位于相应导轨组件的上方和下方。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 江苏汇成光电有限公司 一种防护抽屉导轨颗粒污染装置
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